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半導體硅片甩干機

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  • 8工位3-8寸半導體硅片晶圓旋轉沖洗甩干機
8工位3-8寸半導體硅片晶圓旋轉沖洗甩干機

產品介紹:

硅片旋轉沖洗甩干機用于清洗甩干太陽能硅片和半導體硅片,是濕法清洗工藝的主要設備,目前主要機型有四工位,六工位和八工位系列。主要工作過程為:噴淋旋轉沖洗+離心甩干+氮氣加熱烘干。

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產品簡介 / Introduction

技術參數

型號 model 太陽能行業 Solar
SG11 SG12
工作腔數量 8 8
硅片規格   mm 2.5", 3", 4", 5", 6",8"156 25片盒 2.5", 3", 4", 5" , 6",8"156 50片盒
旋轉速度   r/min 0-900 0-900
氮氣壓力 0.3
去離子水壓力 0.3
電阻率監控 可選 optional
氮氣密封 Nitrogen seal 有 Yes
空/氮氣烘干 有 Yes
氮氣加熱方式 熱傳導 Heat exchange
氮氣加熱溫度 30-120℃ PID控溫 30-120℃ PID control
輔助加熱系統 有 Yes
腔體電化學拋光 可選 optional
電機驅動 變頻調速 Speed regulating by frequency conversion
控制系統 PLC可編程控制器 PLC
控制顯示器 液晶觸摸屏 LCD touch screen
外型尺寸(長x寬x高)mm 1040x1095x894 1636X1552X1007 1250x1296x970 1376x1296x1007
電源功率   kw 5 6 6 6
電壓 / 頻率 AC380V 50HZ (三相四線)  / AC380V 50HZ (3-phase)

結構特點

1. 整個甩干過程一般只需5-6分鐘;
2. 設備的外露面為進口PP板,外形美觀,耐酸氣腐蝕;
3. 工作腔、旋轉支架和裝片盒等主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并且表面電化學拋光處理;
4. 旋轉機構經過精密動平衡處理,保證工作時的平衡性;
5. 采用特種減振器,精密減振和阻尼,保證系統的穩定;
6. 采用了潔凈化處理技術,閥門、接頭和管道采用不銹鋼、PFA高純管件和聚四氟;
7. 采用油壓缸自動開門關門, 平穩安全可靠;
8. 采用油浴爐或氣體加熱器加熱氮氣,熱量足,溫度穩定,加熱溫度實時監控,并顯示在液晶屏上,并有雙重安全保護;
9. 特制噴頭和氣液流體控制系統, 全自動切換;
10. 頂蓋采用電加熱板輔助加熱,保證頂蓋烘干后不滴水;
11. 工作腔采用防靜電控制。

電氣控制

1. 采用PLC可編程控制器和觸摸屏控制,整個過程智能化;
2. 程序設計可靠, 速度調節、溫度調節和時間調節等都可以在觸摸屏上設定、修改和保存;
3. 采用變頻技術控制轉速,加減速平穩,清洗和甩干速度按工藝要求設定,并實時顯示在液晶屏上;
4. 采用電子制動,制動時間控制在15秒之內;
5. 控制軟件具有故障實時顯示和報警功能;
6. 采用了工作過程狀態監控,門位置狀態監控與互鎖,氮氣加熱溫度實時監控,緊急停止按鈕等安全措施。

產品展示

甩干機1

全自動硅片旋轉沖洗甩干機

甩干機3

公司優勢

領軍品牌 實力保障

品牌實力品牌 多重保障

15年行業經驗,專注研發生產半導體/太陽能光伏清洗設備

國家高新技術產品,率先通過ISO9001質量體系認證

下設2個分廠:新余市奧曼特科技有限公司、無錫凌晶硅科技有限公司

銷售及服務網絡遍布全國,為您提供優越技術培訓·售后服務

專業研發 非標定制

定制研發設計 非標定制

由碩士高級工程師等組成的研發團隊,技術過硬,實力雄厚

建立國內硅片切割加工設備生產實驗線

2007年“硅片旋轉沖洗甩干機”評為國家高新技術產品

榮獲多項硅片加工設備專利,研發定制技術時刻保持行業前沿

非標定制,可根據客戶需求進行量身定制清洗解決方案

匠心工藝 國際品質

品質匠心工藝 國際品質

擁有超8000㎡專業化規模生產基地,設備齊全

嚴格按照ISO9001:2000標準質量管理體系進行設計·生產·服務

設備產品性能穩定,使用壽命長,質量可靠

自主研發,自有工廠,廠家直銷,性價比高

免費定制 貼心售后

服務免費定制 貼心售后

根據客戶需求免費設計圖紙/定制解決方案

奧曼特全線產品享受免費上門安裝調試

每款產品配套有調試操作視頻,手把手教您操作使用

7*24小時快速響應,客服團隊隨時待命,確保設備正常運行

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無錫市奧曼特科技有限公司

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